TOF-DR软件是PHI TOF-SIMS数据分析的核心利器，本系列文章将持续分享该软件的常用功能及数据处理技巧。

利用原位AES、EDS和FIB技术，成功实现对埋藏颗粒的精准分析。在同一腔室内，依次采用EDS定位埋藏颗粒、FIB暴露颗粒截面、AES精确分析颗粒成分，从而实现对样品表层下方（亚表层）埋藏金属颗粒的检测与表征。

AES结合XPS揭示了PBF-LB过程中飞溅颗粒的生成及氧化行为，为优化增材制造工艺提供了新见解。

PHI 710拥有先进的扫描俄歇纳米探针系统，能够在纳米尺度上实现夹杂物成分识别、元素成像分析及深度分析等。此外，AES还可在单一超高真空系统中整合SEM、AES、EDS与EBSD技术，多技术联用俄歇电子能谱仪可高效开展对纳米级微区样品的精准分析。